氣體質(zhì)量流量控制器使用將*的執(zhí)行器控制技術(shù)和阿自倍爾自有的微流量熱質(zhì)量流量傳感器相結(jié)合的檢測(cè)單元。 
由于μF傳感器的特性，可在廣泛的流量控制范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)快速響應(yīng)。 
這些控制器適用于制造廠用于玻璃加工的低壓氣體，釬焊過(guò)程中的火控，以及傳統(tǒng)質(zhì)量流量控制器無(wú)法輕易調(diào)節(jié)的其他過(guò)程。 
我們多元化的產(chǎn)品陣容擴(kuò)大了可能的應(yīng)用范圍。

主要特點(diǎn)
反應(yīng)快
具有非常小的熱質(zhì)量的微型MEMS傳感器直接與氣體??接觸以實(shí)現(xiàn)快速響應(yīng)。
高準(zhǔn)確率
我們的μF傳感器隨著時(shí)間的推移幾乎不會(huì)改變其特性，確保長(zhǎng)時(shí)間的高精度。
廣泛的產(chǎn)品陣容
為了滿足客戶的應(yīng)用需求，有多種產(chǎn)品可用于測(cè)量0-5 mL / min至500 L / min的各種流量范圍。
降低壓力損失
通過(guò)在通道壁上安裝μF傳感器，可將這些儀表中的壓力損失保持在zui低水平，從而將突起和由此產(chǎn)生的流動(dòng)阻力降至zui低。因此，它們非常適合測(cè)量和控制低壓下的氣體流量。
各種功能
我們通過(guò)開發(fā)控制設(shè)備而獲得的豐富的微型計(jì)算機(jī)技術(shù)提供了傳統(tǒng)質(zhì)量流量計(jì)中的一系列功能。 
這些功能包括瞬時(shí)或累計(jì)流量顯示，氣體類型切換，上限和下限報(bào)警輸出，模擬量輸出，累加器脈沖輸出和通訊功能。（可用的功能取決于特定的產(chǎn)品。）
質(zhì)量流量測(cè)量
這些儀表可以測(cè)量空氣或氣體的流量，并將其轉(zhuǎn)換為標(biāo)準(zhǔn)條件，而不管操作溫度和壓力如何。 
（換算成標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)的流量是1個(gè)大氣壓和0℃[或20℃]時(shí)的體積流量。）
測(cè)量范圍寬
傳統(tǒng)的氣體流量計(jì)在測(cè)量低流速時(shí)通常比在接近其zui大限度的流速時(shí)更難以測(cè)量。阿自倍爾專有的μF傳感器可以實(shí)現(xiàn)更廣泛的測(cè)量和控制。CMS系列質(zhì)量流量計(jì)的可調(diào)比高達(dá)100：1，CML系列高流量質(zhì)量流量計(jì)的可調(diào)比高達(dá)160：1（測(cè)量范圍為1,280：1）！ 
這些質(zhì)量流量計(jì)非常適用于控制空氣或氣體消耗，并通過(guò)檢查泄漏來(lái)節(jié)省能源。

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